セイコーインスツルメンツ、全自動ウェハ欠陥観察装置を販売開始

セイコーインスツルメンツ(本社=千葉市美浜区、服部純一社長)は1日、半型体デバイスメーカー向けパターン付き全自動ウェハ欠陥観察装置の販売を開始した。同装置は、デバイス構造の微細化や高集積化に対応するため開発されたもので、半導体デバイス上の異物や欠陥を走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて観察する従来装置を電子工学系、搬送系、試料ステージおよび制御系に至るまで一新し、高分解能、高速全自動観察を達成した。0.18μメートル以下の微細パターンでの観察を可能にしたほか、新たに開発した高速オートフォーカス機能により従来の約2.5倍の高速で全自動観察を行うことができる。この他、CAD情報を用いてパターンの危険箇所の座標値を抽出し、SEMによる自動観察が可能。

本体価格は1億9,000万円から。初年度20台の販売を目指している。