[セイコーインスツルメンツ] 高精度蛍光X線膜圧計を開発

セイコーインスツルメンツは５日、極微小部の膜厚を高精度に測定できる蛍光X 線膜厚計「SFT9300」を開発、販売を開始したと発表した。X 線源に７５ワットの小型ハイパワーX 線管球を搭載、金メッキ測定では従来に比べ制度で２倍、測定時間で４分の１の短縮を実現した。

蛍光X 線方式の膜厚計は、半導体材料や電子部品などの蒸着、スパッタ、メッキなどの膜厚を非破壊、非接触で測定することが可能だが、携帯電話の電子部品などますます微細化する膜厚測定ニーズに応えるため、より高精度な製品の開発が求められていた。

同社は、新製品に小型ハイパワーX 線管球を採用し、極微小部の膜厚測定を向上させたのに加え、高倍率で試料観察が可能なズーム機能を搭載、オペレーターが微小部測理部位の位置合わせや焦点合わせを手軽にできるようにした。

ステージ駆動にはサーボモータを採用することで、ステージの高速・高精度化を実現。極微小部の正確な位置合わせと自動測定時の位置再現性を向上させた。スズ−銀、スズ−ビスマスなど鉛フリーはんだメッキの膜厚測定など多様なアプリケーションにも対応できる。価格は９８０万円から。