[島津製作所] 世界最高の分解能

島津製作所は、焦点サイズ０.４μｍという産業用Ｘ線透視装置では世界最高レベルの分解能と、２０００時間以上の連続Ｘ線出力を実現したマイクロフォーカスＸ線透視装置「ＳＭＸ‐１６０ＬＴ」（＝写真）を７月２６日、販売開始した。ますます高密度化が進む半導体、電子部品などの生産ラインにおいて、より高精度で長時間連続運転で検査できる装置へのニーズに対応したもの。主に高密度実装半導体、電子部品向けに年間３０台の販売を見込んでいる。価格は５０００万円。

同装置は、タングステン電子源に代わって焦点が絞りやすく寿命が長いＬａＢ６（六ホウ化物）結晶をフィラメントに用いた自社開発のＸ線管球を採用し、最小焦点サイズ０.４μｍを実現した。加えて、メガピクセルＣＣＤカメラを搭載、最大４０００倍の高拡大透視を行った場合でも０.４μｍの微細な部位がクリアな映像として観察できるほか、ＬａＢ６結晶フィラメントには、Ｘ線を連続出力した場合にも長い寿命を持つ特長があるため、同装置のフィラメント寿命は２０００時間以上と長く、生産ラインにおいて長時間にわたって連続運転が行うことができるのが特長。

Ｘ線透視装置は、非常に細く絞られたＸ線を被検査物に透過させてイメージ管と呼ばれる装置に透視画像を投影し、ＣＲＴなどに表示する装置。非破壊検査機器の代表的な装置として、電子部品、自動車など幅広い分野で用いられている。電子部品の分野では高密度化などに伴い、製造ラインでのＸ線透視装置の需要が拡大しており、最近では、電子部品を搭載した実装基板などの実物を生産ラインで高精度に検査できる装置のニーズが高まっている。