[島津製作所] 新型Ｘ線透視装置

島津製作所は、高密度半導体など電子部品の微小接合部分を実物のまま自由な角度から観察できるマイクロフォーカスＸ線透視装置「ＳＭＸ‐１６０ＧＴ」を３日、発売した。複雑に重なっている部分も回転させながら容易に透視、観察できる着脱式回転テーブルや、ルーチン検査体の自動位置決め機構などを備えたタングステン電子源搭載の普及型マイクロフォーカスＸ線透視装置。同社が既に販売している六ホウ化物結晶電子源を搭載したＸ線透視装置の高級機（ＳＭＸ‐１６０ＬＴ）のメカ部分を生かしながら電子源をタングステン電子源に置き換え、コストパフォーマンスを向上させた。普及型Ｘ線透視装置として、半導体、電子部品業界をターゲットに拡販を目指す。

同装置は、最小焦点サイズ１ミュウｍのタングステンフィラメントＸ線管球と、３インチイメージ管を搭載、最大２７００倍の高拡大透視を行った場合でも、微細な部位がクリアな映像として観察できるほか、大きな検査体もそのまま置ける３５０×３００ミリメートルの大型テーブルを採用しており、搭載可能重量は最大で２キログラム。価格は３９００万円。年間２０台の販売を見込んでいる。