[島津製作所] 半導体製造分野むけに ＣＴ装置の機能も複合装置で高性能化

　島津製作所は５月１４日、半導体製造分野向けに、マイクロフォーカスＸ線透視装置に縦型ＣＴユニットを付加して、１台でＸ線透視装置と縦型ＣＴ装置の機能を使い分けられる複合装置の新製品「ＳＭＸ−１６０ＧＴ．ＶＣＴ−ＳＶ」を発売した。

　新装置は、Ｘ線透視装置としては世界最高レベルの最小焦点サイズ１マイクロメートルと高拡大率（最大２７００倍、従来は２０００倍）で鮮明な映像を得られる。また、ＣＴとしては、Ｘ線管球と検出器の配置が縦型であるため、設置面積が小さいことに加え、新開発の保持機能の採用により最大百グラムまでの被検体の検査が可能。高密度実装半導体や小型基板などの検査に適している。

　同社では、半導体など電子部品の検査用途を中心に、製品の微細部分を実物のまま自由な方向から最適な方法で検査できる装置として拡販する。価格は４８６０万円から６４８０万円。年間２０台の販売を見込んでいる。