[セイコーインスツルメンツ子会社] 集束ＩＢ、走査型電顕複合装置発売

　セイコーインスツルメンツ（ＳＩＩ）の全額出資子会社で、計測分析装置の製造販売を行っているエスアイアイ・ナノテクノロジー（千葉市美浜区）はこのほど、５０ミリメートルの大きさの試料に対応した、集束イオンビーム（ＦＩＢ）／走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の複合装置「ＳＭＩ３０５０ＳＥ」（＝写真）の販売を開始した。新たに開発した世界最高水準のイオンビーム光学系と電子ビーム光学系を採用し、半導体デバイスの超微細化に対応する。

　同装置の新型イオンビーム光学系は像分解能４ナノメートル以下、最大電流密度が１平方センチメートルあたり３０アンペア以上を実現。高解像かつ明るい画像で観察ができるほか、イオンビーム加速電圧が低い設定（５キロボルト）の性能が飛躍的に向上、従来困難であった低加速で試料ダメージを最小限に抑制した高精度加工を実現した。また、イオン電流がサブピコアンペアと極小の領域でイオンビーム性能向上に伴い、ナノメートル・オーダーの加工が容易に行える。一方、新型電子光学系は、ＦＩＢによる加工箇所をＦＩＢ／ＳＥＭ複合装置としては世界最高水準像の分解能５ナノメートル以下（加速電圧１キロボルト）で顕微鏡観察が可能。さらに、ＦＩＢ加工状態を電子ビームの同時照射によるリアルタイムモニタリング機能を実現した。同装置は、イオンビーム光学系を垂直に、電子ビーム光学系を傾斜して配置することで、ＦＩＢのスパッタエッチングによって露出した試料の断面を、試料を傾斜させることなくＳＥＭ観察ができる。本体価格は 一億８０００万円から。初年度１０台の販売を見込んでいる。