[ＳＩＩナノテク] 新型トリプルビーム装置を発売

　エスアイアイ・ナノテクノロジー（ＳＩＩナノテク）は、１台の装置で高品位透過型電子顕微鏡 （ＴＥＭ）サンプル作製を実現したトリプルビーム装置「ＳＭＩ３０００ＴＢシリー ズ」（＝写真）を今月から発売する。

　半導体デバイスのデザインルール微細化に伴い、ＴＥＭや走査型透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）による高画質・高分解能観察の要求が高まり、それに対応した加工ダメージの少ない、高品位ＴＥＭ試料作製技術が求められてる。アルゴン（Ａｒ）イオンビームを用いた低加速度加工により加工ダメージを防ぐことはできるが、Ａｒイオンビーム単体では試料観察が困難で、極薄いＴＥＭ試料作製においては加工終点検出の信頼性や作業効率の面で課題が残されていた。

　今回発売する「ＳＭＩ３０００ＴＢシリー ズ」は、集束イオンビーム（ＦＩＢ）と走査電子顕微鏡（ＦＥ─ＳＥＭ）を複合させたダブルビーム装置に、新たに開発した Ａｒイオンビーム鏡筒を統合するという全く新しいコンセプトのもとに開発されたトリプルビーム装置。同装置においては、集束イオンビーム加工により作製したＴＥＭ試料の最終仕上げを、Ａｒイオンビームミリング加工で行うことによりダメージ層を 除去。逐次ＳＥＭモニタリング機能で試料形状を確認することで、加工の終点検出が容易になり、試料作製の精度と作業効率を向上させた。

　試料サイズ５０mm、２００mm、３００mmに対応した３機種をラインナップ。価格は、１億５０００万円〜３億１０００万円（税別）。